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簡要描述：PCE-80是一款較大型的等離子清洗機，等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體，采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等）。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實驗幫手。
產(chǎn)品型號： 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2024-10-21訪 問 量：2031產(chǎn)品分類
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技術(shù)參數(shù)
輸入電源 |
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射頻功率 |
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等離子腔體 |
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控制面板 |
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真空泵 |
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通入氣體 | 等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定） |
可選 |
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外型尺寸 | 620 L ×450 W ×600 H, mm |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終生維護 |
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