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OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用雙旋片機(jī)械泵，供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng)，可以混合1-3種氣體，其真空度可達(dá)到 10-2 torr.

OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐，是一款通過CE認(rèn)證的可開啟式管式爐，能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)，右法蘭上安裝有一KF-25接口，可以與機(jī)械泵相連接（抽速為226L/m）。同時(shí)左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭，使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序，其控溫精確度為+/- 1 °C 。

OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機(jī)械泵，供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng)，其真空度可達(dá)到 10-2 torr.

GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，Z高溫度可以達(dá)到1700°C，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD（等離子體氣相沉積）管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備帶有500W的等離子射頻電源，一個(gè)爐管直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）和一個(gè)直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的PECVD 系統(tǒng)。對(duì)于有限的經(jīng)費(fèi)的情況下來進(jìn)行材料探索，此套系統(tǒng)極為理想。

OTF-1500X-80-III-4CV-PE是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng)，它是由500W的射頻電源，1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)對(duì)于生長納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個(gè)新的實(shí)驗(yàn)幫手。