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1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-F3LV

簡要描述:GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),Z高溫度可以達(dá)到1700°C,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-10-22
  • 訪  問  量:2102

詳細(xì)介紹

  GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),zui高溫度可以達(dá)到1700°C,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。

技術(shù)參數(shù)

管式爐結(jié)構(gòu)
  • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有分冷,使得殼體表面的溫度小于55°C.
  • 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
加熱元件


 1800 grade MoSi2   ( 8根) 
 

zui高工作溫度
 1700°C
zui大升溫速率
  5°C/min
zui大降溫速率
 5°C/min
加熱區(qū)長度
 455mm (18")
恒溫區(qū)長度 
 150(+/-1°C)
溫控系統(tǒng)
  • 一個精密溫度控制器 PID方式控制,通過可控硅 SCR
  • 可設(shè)置30段升降溫程序. 
  • 控溫儀表操作視頻
  • 帶有過熱和斷偶保護(hù)
控溫精度
 +/-1°C
爐管材質(zhì)和尺寸
  • 99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管
  • ID: 72mm x  OD: 80 mm   x 1000 mm length.    
密封法蘭
  • 兩個不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計,和閥門
  • 通過機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr 
  • 泄漏率zui大6 mtorr/min
輸入電源AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:zui大5KW
真空泵和配件真空泵
  • 一個雙旋片式機(jī)械泵安裝在移動架內(nèi)
  • 通過此機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5x10^-2 torr 
配件
  • 標(biāo)配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口,兩個不銹鋼針閥, 1/4"的軟管接頭
  • 一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍
  • 一個LED數(shù)字式真空顯示計(測量范圍: 0.1mtorr ~ 850 torr)
  • 可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點擊圖片查看詳細(xì)介紹)
氣體流量計
  • 3個浮子流量計(精確度4%FS)安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體。
  • *路氣體流量范圍為10-100 cc/min. 
  • 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. 
  • 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
  •  一個壓力表安裝在移動加上,壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接 ,來監(jiān)測混合氣體的壓力
  • 四個不銹鋼針閥安裝在前面板上
     
    Front PanelBack PanelGas Routes
        
運輸信息產(chǎn)品尺寸
  • 外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管
  • 爐體尺寸:550 x 500 x 700mm L x W x H
  • 混氣系統(tǒng):: 600 x 600 x 700mm 真空機(jī)組: 600 x 600 x 700mm
凈重450 lb (總計)
運輸重量500 lb (總計)
質(zhì)保期 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件
質(zhì)量認(rèn)證     CE certified

 

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