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真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)--VTC-100PA（加熱型）

簡要描述：VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

產(chǎn)品分類

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詳細(xì)介紹

VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

技術(shù)參數(shù)

主要特點(diǎn)	真空吸附方式固定樣件，操作簡便。使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。設(shè)有12組程序，每組包含6個運(yùn)行階段。電機(jī)啟動快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的*性和均勻性。 50W/24V 直流電機(jī) 適于在Ar氣環(huán)境中工作（真空泵放置在手套箱外）
參數(shù)	電機(jī)功率：50W/24V 速度范圍：500-10000rpm 程序運(yùn)行：可儲存12組程序，每組程序包含6個運(yùn)行階段增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s 時間范圍：0-60s 吸盤：Φ19mm、Φ60mm
進(jìn)氣口	上蓋有一個直徑6mm的進(jìn)氣口可將需要的氣體通入腔體，實(shí)現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆
可選加熱部分	上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測溫，數(shù)字溫控器控溫，zui高120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽能電池等研究。
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：450mm×280mm×340mm；重量：20kg
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	真空吸盤（含O型圈）	2個
	2	中心定位器（含4個定位柱）	1個
	3	滴膠注射器（20ml）	1個
	4	注射器支架	1個
	5	無油真空泵	1臺
	6	橡膠管（含卡箍）	1根
可選配件	過濾器（真空泵用）