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VTC-200P是一款防腐型真空旋轉(zhuǎn)涂層機,機體和真空旋轉(zhuǎn)盤都采用尼龍材料制作,所以儀器具有非常強的抗酸抗堿性,儀器中包括4個真空吸盤,針對于直徑為10mm到6英寸??刂坪信c機體分開,以便于實驗操作和實驗室擺放。儀器轉(zhuǎn)速為500-8000rpm,分為低速旋轉(zhuǎn)和高速旋轉(zhuǎn)兩個。同時產(chǎn)品標配中配有無油泵和20ml注液器。
MSK-AFA-III是一款帶有自動烘干功能的小型涂覆機,通過勻速地推動精密制膜器,已達到平滑和均勻的涂覆效果。儀器采用真空吸附來固定襯底,使得涂覆過程中襯底不會起褶,從而使得涂覆更加順暢。涂覆過后,儀器上蓋可對樣品進行加熱烘干,Z高溫度可以達到200℃,控溫精度為+/-1°C。此款設備特別適合于固態(tài)電解質(zhì)和鋰電池極片的制備。
VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),基片Z大尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺,可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,銀,銅, 它可以與真空泵,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.
GSL-1100X-15E是一款小型真空鍍膜儀,特別適合蒸鍍一些輕金屬,如 Al. Mg, 和Li等。同時也可對樣品進行鍍碳處理,Z大可處理的樣品直徑為50mm.。
GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀,特別適合蒸鍍一些對氧較敏感的金屬膜,如Ti, Al 和Au等,也可蒸鍍各種氧化物材料。此款蒸鍍儀安裝有4個蒸鍍加熱頭.對于實驗研究,這是一款鍍膜效果理想并且性價比較高的實驗設備。
OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸發(fā)管式爐,專門針對于用PVD或CSS法來制作薄膜。此款管式爐爐管直徑為11" OD,爐管內(nèi)載樣盤可放置3" 的圓形或2"x2"的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管,分別安裝在腔體的頂端和底部,其升溫速率高達20?C/S 。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制,控溫精度為+/-1?C。儀器面板上帶有RS485接口,若儀表內(nèi)配有控溫軟件,就可將升溫程序和曲線導出
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