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OTF-1100X11Z3LV CVD

簡要描述: OTF1100X11Z3LV CVD system consists of 11" diameter three zone tube furnace with mechanical vacuum pump system (up to 10-2 torr ) and 6 channel precision digital Mass flow-meters, which can control nine types of gases for CVD or diffusion

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-10-21
  • 訪  問  量:1851

詳細(xì)介紹

我公司供應(yīng)的產(chǎn)品符合國家有關(guān)環(huán)保法律法規(guī)的規(guī)定(含采購商ISO14000環(huán)境體系要求),不會(huì)造成環(huán)境污染;
     該產(chǎn)品符合采購商OHSMS18000職業(yè)安全健康管理體系標(biāo)準(zhǔn)的要求,不會(huì)對接觸產(chǎn)品的人員健康造成損害!
主要特點(diǎn): 采用電阻絲加熱;30段程序控溫;3個(gè)獨(dú)立溫區(qū),可通氣氛抽真空

設(shè)備的控制系統(tǒng),具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高(專家PID控制)、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、可通氣氛抽真空等特點(diǎn)。


 
技術(shù)參數(shù):
功率: 8 Kw
電源:AC220V  , 50/60 Hz  (使用時(shí)需配 50A空氣開關(guān))

加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金

zui高溫度: 1100 oC

長期使用溫度: 1000 oC

zui快升溫速率: ≤ 10  oC /min

爐管尺寸及材質(zhì): 石英管;外徑279 x內(nèi)徑269 x長度1524mm

加熱區(qū)長度:三個(gè)溫區(qū)分別是300 mm + 300 mm + 300mm  

溫區(qū)總長:  900 mm

恒溫區(qū)長度: 500 mm ( 在恒溫區(qū)內(nèi)溫度誤差 ± 1oC)

 

溫度控制器:

三塊30段高精度溫度控制器,可分別單獨(dú)控制每個(gè)溫區(qū)
自動(dòng)PID調(diào)節(jié)功能,可使溫度控制精度保持在± 1oC
設(shè)有自動(dòng)超溫及斷偶報(bào)警功能。
請點(diǎn)擊此處下載  使用操作說明書    
熱電偶類型: 3只K型熱電偶分別安裝于每個(gè)溫區(qū)

真空密封法蘭:

可直接連接PV軟管
采用雙硅膠O型圈密封可耐溫 300oC
配有氧化鋁絕熱堵頭有效的阻止熱輻射起到保護(hù)法蘭的目的
真空系統(tǒng):

采用雙旋葉機(jī)械泵于分子泵相結(jié)合,zui高真空度可達(dá) 10-3.帕  
1臺分子泵
配有一只電阻規(guī)于電離規(guī)作為檢測元件 
波紋管連接
可選配數(shù)字真空計(jì)(美國進(jìn)口)
 
 

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