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2單靶直流磁控濺射儀--VTC-16-SM

簡要描述:VTC-16-SM是一款桌面式等離子磁控濺射鍍膜儀,包含一個(gè)2英寸水冷靶頭和可旋轉(zhuǎn)樣品臺,外形小巧,性價(jià)比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設(shè)備,可選配各種金屬靶材和真空泵。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-10-22
  • 訪  問  量:2092

詳細(xì)介紹

VTC-16-SM是一款桌面式等離子磁控濺射鍍膜儀,包含一個(gè)2英寸水冷靶頭和可旋轉(zhuǎn)樣品臺,外形小巧,性價(jià)比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設(shè)備,可選配各種金屬靶材和真空泵。

用直流磁控濺射儀可獲得單相Al

技術(shù)參數(shù)

輸入電壓

AC 208V ~ 240V, 50/60 Hz

輸入功率

< 2000W 

輸出功率

  • 電壓:1600VDC
  • zui大電流:150mA 

腔體

石英腔體:167mm OD. x 152mm ID x 260mm Height


濺射頭和樣品臺

  • 2英寸帶水冷磁控濺射頭
  • 一個(gè)直徑50mm不銹鋼樣品臺,樣品臺可旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)速率0 - 5 RPM 
  • 配有一手動操作的擋板,包含靶頭支撐架

  • 樣品臺和靶頭之間的距離可以調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)范圍:60-100mm

         (點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

控制面板

6" PLC集成觸摸屏控制面板,可控制真空、電流、靶材位置和基片加熱溫度


附件(可選)

  • 雙極旋片真空泵VRD-8,KF25接口

  • KF25不銹鋼波紋管

  • 10L/min 循環(huán)水冷機(jī)冷卻磁控靶頭  
      

氣氛

含一個(gè)控制進(jìn)氣的針閥和一個(gè)放氣閥


靶材

  • 靶材尺寸: 50 mm dia. x 0.50 -2 mm
  • 適合濺射Au,Ag,Cu,Al,Cr,Ti,Sn,Ni等金屬,可選購

可選配件

  • 膜厚監(jiān)測儀
  • 分子泵,可獲得高真空, >10E-5 torr
  • 為獲得的薄膜強(qiáng)度,建議鍍膜前用等離子清洗機(jī)對基片進(jìn)行清洗。
  • 500度樣品加熱臺         
        

 

體積

    
  ( L 440mm×W 330mm × H 290mm 

凈重

20 kg ( not included pump )

質(zhì)保和證書

  • 一年質(zhì)保,終生維護(hù)
  • CE認(rèn)證

磁控濺射鍍膜知識

與客戶分享的磁控濺射鍍膜技術(shù),請點(diǎn)擊文章鏈接Plasma Sputter Coating.  

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