特點(diǎn)

• 采用高熱傳導(dǎo)率的AlN陶瓷片作為樣品臺(tái)，一根K型熱電偶的探頭直接與AlN陶瓷片的底部相接觸。可通過(guò)磁鐵推動(dòng)熱電偶和AlN陶瓷片在 密閉的石英管內(nèi)移動(dòng)
• 一款通過(guò)NIST認(rèn)證的精密測(cè)溫儀表與熱電偶相連接，實(shí)時(shí)檢測(cè)樣品的溫度。
• 一個(gè)磁鐵嵌在氧化鋁管堵內(nèi)，另一個(gè)磁鐵位于石英管外部，通過(guò)移動(dòng)石英管外的磁鐵，可移動(dòng)石英管內(nèi)的熱電偶和樣品臺(tái)移動(dòng)。
• 爐體可設(shè)置30段升降溫程序，zui高工作溫度為1200℃
• 儀器包括一石英舟，實(shí)驗(yàn)時(shí)可放置蒸發(fā)原料或基片。
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功率

• 208 - 240 VAC, 50/60Hz   
• 1.5KW

zui高工作溫度

1200℃

連續(xù)工作溫度

1100℃

zui大升溫速率

20℃/min

加熱區(qū)

• 加熱區(qū)長(zhǎng)度：200mm
• 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：60mm(+/-1°C)
  

溫度控制部分

• 采用PID方式來(lái)調(diào)節(jié)溫度，控溫儀表上可設(shè)置30段升降溫程序
• 控制器上設(shè)置有超溫和短偶保護(hù)
• 可選：客戶可選購(gòu)MTS02-B控制模塊和PC，來(lái)用電腦設(shè)置溫度程序和導(dǎo)出溫度曲線 
• 控溫儀表操作視頻
   

控溫精度

+/- 1°C

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金（表面涂有進(jìn)口氧化鋯涂層，可極大地延長(zhǎng)加熱元件使用壽命）

爐管尺寸

• 尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x 800mm L
• 配有4個(gè)氧化鋁管堵，實(shí)驗(yàn)時(shí)需在爐管兩端放入管堵，以保證法蘭的密封性
• 配有一個(gè)石英舟，用于盛放蒸發(fā)原料或基片 
    

真空法蘭

配有一對(duì)不銹鋼真空法蘭，上面已安裝了不銹鋼截止閥和機(jī)械壓力表

真空度

10-2Torr(用機(jī)械泵)

可選

• 可選購(gòu)手動(dòng)擋板閥與真空泵相連接
• 可選購(gòu)快速連接法蘭，數(shù)顯真空計(jì)
• 針對(duì)于CVD和DVD實(shí)驗(yàn)，可選購(gòu)多路供氣系統(tǒng)
      

尺寸

• 爐體閉合時(shí)的尺寸：1055mm(L) × 300mm(W) × 400mm(H) 
• 爐體開(kāi)啟時(shí)的尺寸：1055mm(L) × 300mm(W) × 560mm(H) 

重量

22kg

質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包含爐管和密封圈）

質(zhì)量認(rèn)證

• CE認(rèn)證
• 所有電器元件（＞24V）都通過(guò)了UL/MET/CSA認(rèn)證
      

使用注意事項(xiàng)

• 使用時(shí)，石英管內(nèi)的氣壓不可大于0.12Mpa
• 石英管內(nèi)處于真空狀態(tài)是，使用溫度不可高于1000℃