爐體結(jié)構(gòu)

• 兩個(gè)爐體在一個(gè)滑動(dòng)軌道上，爐體zui高工作溫度1200℃
• 每個(gè)爐體加熱區(qū)為200mm,恒溫區(qū)為60mm
• 一個(gè)滑動(dòng)軌道安裝在兩爐體底部，可手動(dòng)推動(dòng)爐體滑動(dòng)
• 儀器中配有不銹鋼密封法蘭

總功率

2.5KW

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz, （需要20A的空氣開(kāi)關(guān)）

zui高工作溫度

1200℃

連續(xù)工作溫度

1100℃

加熱&冷卻速率

加熱區(qū)長(zhǎng)度

每個(gè)爐體的加熱區(qū)為200mm

恒溫區(qū)

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金

爐管

• 高純石英管
• 尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL
  

溫度控制系統(tǒng)

• 兩個(gè)爐體都采用PID方式來(lái)調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序。
• 控溫儀表操作視頻
• 設(shè)置有超溫和斷熱偶報(bào)警
• 包括2個(gè)K型熱電偶（已安裝在爐體上）
• 可選:可選擇控制模塊MTS-02，可使用電腦來(lái)控制爐體的升降溫
   （點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）

真空法蘭

• 儀器中包含一對(duì)不銹鋼密封法蘭，法蘭上安裝有機(jī)械壓力表
• 可選購(gòu)KF25接口的法蘭（提高抽氣速率)，數(shù)顯真空計(jì)
   

滑軌長(zhǎng)度

1200mm

真空度

• 10E-5 torr（采用分子泵）
• 10E-2 torr（采用機(jī)械泵）
• 可在本公司選購(gòu)真空泵
   

可選

• 可選擇電動(dòng)滑軌，更好的控制快速升降溫速率
• 1-9通道質(zhì)量流量計(jì)（MFC）控制的供氣系統(tǒng)
• 100W-500W的射頻等離子源
• 這些模塊與管式爐配合可搭建起等離子增強(qiáng)的TCVD系統(tǒng)
    

尺寸

1500 x 380 x 620 mm（爐體＋滑軌）

凈重

約80kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、密封圈和加熱元件）

質(zhì)量認(rèn)證

• CE認(rèn)證
• 所有電器元件（輸入電壓>24V）都通過(guò)了UL/MET/CSA認(rèn)證
• 本公司保證此設(shè)備通過(guò)TUV(UL61010）或CSA認(rèn)證（需額外出認(rèn)證費(fèi)用）
      

使用注意事項(xiàng)

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
• 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加安全
• 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM
• 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)