1200℃開啟式管式爐具有基礎(chǔ)溫度低、沉積速度快、成膜質(zhì)量好、針孔少、不易開裂等優(yōu)點(diǎn)；在此過程中，由于等離子體中的高速電子撞擊中性反應(yīng)氣體分子，中性反應(yīng)氣體分子會變成碎片或處于活化狀態(tài)，容易發(fā)生反應(yīng)；在射頻的幫助下，含有薄膜原子的氣體在局部形成等離子體，等離子體具有很強(qiáng)的化學(xué)活性，易于反應(yīng)在基板上沉積所需的薄膜；高真空系統(tǒng)由兩級旋片真空泵和分子泵組成，真空度可達(dá)0.001pa；數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)由多通道質(zhì)量流量計和流量顯示儀表組成，實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確測量和控制；每條燃?xì)夤艿谰鋫涓邏褐够亻y，確保系統(tǒng)的安全性、連續(xù)性和均勻性。那我們在具體的使用過程中還要注意哪些細(xì)節(jié)呢？

 

　　1、爐管內(nèi)氣壓不得高于0.02MPa。由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，在將氣體引入爐管時，必須在氣瓶上安裝減壓閥。

　　2、爐體溫度高于1000℃時，爐管不能處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)氣壓必須與大氣壓相等并保持在大氣壓。

　　3、進(jìn)入爐管的氣體流量應(yīng)小于200sccm，以避免冷大氣流對加熱的石英管的影響。石英管的長期使用溫度應(yīng)小于1100℃。

　　4、樣品加熱實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥。如果需要關(guān)閉空氣閥來加熱樣品，請隨時注意壓力表的指示。如果氣壓示值大于0.02MPa，必須立即打開放空閥，以防發(fā)生意外（如爐管破裂、法蘭飛邊等）。

　　5、1200℃開啟式管式爐使用或長期不使用后，應(yīng)在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用，以免爐裂。不要超過爐襯的額定溫度，以免損壞爐襯。禁止將各種液體和溶解的金屬直接倒入爐內(nèi)，以保持爐內(nèi)清潔。

　　6、開式管式爐使用時，由于爐膛較冷，需要吸收大量熱量，低溫段的升溫速度不易過快，且各溫度的升溫速度不同截面不易過大。在設(shè)定升溫速率時，要充分考慮燒結(jié)材料的物理化學(xué)性能，避免噴濺污染爐管。

　　7、1200℃開啟式管式爐使用一段時間后，如果真空度下降，更換不銹鋼法蘭之間的耐溫硅橡膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭或更換和維修真空系統(tǒng)，以提高整體真空度系統(tǒng)的程度。