濺射沉膜技術(shù)是以一定能量的粒子(離子或中性原子、分子)轟擊固體表面，使固體近表面的原子或分子獲得足夠大的能量而最終逸出固體表面的工藝。濺射只能在一定的真空狀態(tài)下進(jìn)行。
濺射工藝主要用于濺射刻蝕和薄膜沉積兩個(gè)方面。濺射刻蝕時(shí)，被刻蝕的材料置于靶極位置，受氬離子的轟擊進(jìn)行刻蝕?？涛g速率與靶極材料的濺射產(chǎn)額、離子流密度和濺射室的真空度等因素有關(guān)。濺射刻蝕時(shí)，應(yīng)盡可能從濺射室中除去濺出的靶極原子。常用的方法是引入反應(yīng)氣體，使之與濺出的靶極原子反應(yīng)生成揮發(fā)性氣體，通過(guò)真空系統(tǒng)從濺射室中排出。
VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型)，基片Z大尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類(lèi)型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，銀，銅, 它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.
1.加熱樣品臺(tái)
（1）一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái), 可以移動(dòng)三個(gè)位置
?。?）基片可以放在樣品臺(tái)上. 加熱溫度 500°C
?。?）PID控溫方式和觸摸屏面板，控溫精度+/-10°C
?。?）zui長(zhǎng)濺射時(shí)間不可超過(guò)5分鐘
2.控制面板
?。?）控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏
?。?）一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度 , 電流 , 靶材位置 和 基片加熱溫度
3.可選
?。?）KF25 真空接口、卡箍，和600mm長(zhǎng)不銹鋼波紋管
（2)120L/M旋片式真空泵(包含在儀器內(nèi))
(3）不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接
?。?）各種高純度金屬靶
?。?）需要一個(gè)帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶 (這個(gè)我們不提供)
進(jìn)氣口
一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量
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