真空管式爐的安全使用注意事項
更新時間：2017-09-21 點擊次數(shù)：1617
真空管式爐是在真空環(huán)境中進行加熱的設(shè)備，一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)和控溫系統(tǒng)等組成。真空爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應(yīng)爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐和等離子爐等。
真空管式爐一般在春秋季節(jié)泄漏故障較多，長期閑置的真空爐在才次使用時真空爐泄漏故障比較易發(fā)生。
這時間就必須進行真空檢漏，真空檢漏一般采取每月一次測壓升率(在常溫下，關(guān)閉所有真空閥，停止真空系統(tǒng)運轉(zhuǎn)，1Omin后讀一個數(shù)，1h后再讀一個數(shù)，兩數(shù)之差是壓升率的數(shù)值)，掌握設(shè)備泄漏變化趨勢，如真空設(shè)備連續(xù)停機一個禮拜，要空運轉(zhuǎn)一次（進行烘爐）。
1、在實驗工作完畢以后，要關(guān)特殊氣體，保留N2流動即可。真空氣氛爐管要保持在standby溫度，并要仔細查看其它電源是否關(guān)閉，如果沒有就隨手關(guān)閉。
2、在晶片進出爐口承接boat的holder的時候，盡量不要碰觸管式爐的爐管口，以免爐管受到污染。
3、在沒有使用到時，要將爐子的長短推桿的前端朝上放置，以免污染。
4、在使用管電爐時還要避免吸入從爐子或者是處理槽所冒出的各種氣體，以便發(fā)生中毒的情況。
5、工件--工件車須經(jīng)清洗干燥后方克進入爐內(nèi)，防止水份、污物進入爐內(nèi)。
6、各傳動件發(fā)現(xiàn)卡位，限位不準，控制失靈等現(xiàn)象時，應(yīng)立即排除，不要強操作，以免損壞機件。
在試驗過程中，請節(jié)約純水的使用，一旦發(fā)現(xiàn)安全隱患或者不正常的現(xiàn)象時，要盡快通知有關(guān)技術(shù)人員，以防止事故的發(fā)生。
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